修理サービス一覧

真空機器に関する修理を承ります。

1．真空ポンプ >

国内外のメーカーの真空ポンプの修理・オーバーホールの対応を行っております。

ロータリーポンプ、ドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ、油拡散ポンプに対して、個々のポンプの状態と諸条件に応じたメンテナンスプランを提案致します。

真空ポンプ修理詳細へ

2．電源・各種コントローラ >

DC電源や各種コントローラの修理・メンテナンスを行っております。

基板上の電子部品の状態を確認し、入手可能な交換部品を用いた修理を行います。

お見積りは無料で行っておりますので、お気軽にお問い合わせください。

電源修理詳細へ

3．ブラスト処理・真空装置構成部品の部分メンテナンス >

スパッタリング装置や蒸着装置の防着板やシャッターに付着した成膜物のブラスト処理や、各種の真空機器の部分的なメンテナンスや修繕を行っております。 

装置・機器メンテナンス詳細へ

□過去の修理対応例（取引先：大学・研究機関・一般企業など）

・各社ロータリーポンプのオーバーホール

・ターボ分子ポンプのオーバーホール

・3世代前のTMPコントローラの修理

・スクロールポンプのオーバーホール(チップシール及びベアリング交換)

・ALDプロセス用ドライ真空ポンプのオーバーホール

・クライオポンプの現地オーバーホール及びクライオコンプレッサーのアドソーバ交換

・ヘリウムリークディテクタの修理

・バタフライバルブ、アングルバルブの弁体Oリング交換による内部リーク解消

・電極部品に付着した成膜物の除去作業

・ねじ頭が潰れて分解ができなくなった装置構成部品の修理

・その他、真空装置及び真空機器の不具合に関する案件多数